中图仪器CEM3000系列国产钨灯丝台式扫描电镜是一款用于对样品进行微观尺度形貌观测和分析的紧凑型设备。
产品型号
CEM3000系列共涵盖CEM3000A（大样品仓型）和CEM3000B（抗振型）两款强化机型，CEM3000A在不改变整机外观尺寸的情况下，拓展了样品仓尺寸，从而可对大尺寸样品或多个常规尺寸样品进行分析。同时，用户也可选择加装有减振仓的CEM3000B，确保在缩短抽放气时间的同时，消除环境振动对电镜的影响，保证了高倍数成像时的图像质量。此外，该系列电镜可通过加装各类探头和附件，满足用户的拓展性需求，这使其在材料科学、生命科学、纳米技术、能源等多个领域得到了广泛应用。
不同于立式电镜，CEM3000系列国产钨灯丝台式扫描电镜无需占据大量空间来容纳整个电镜系统，这使其甚至能够出现在用户日常工作的桌面上，在用户手边实时呈现所得结果。此外，该系列台式电镜也可以进入手套箱、车厢还是潜水器等狭小空间内大显身手。即便在一些常规电镜难以耐受的工作环境中，该系列台式电镜也能凭借抗振防磁技术，展现出色的性能。
性能特色
1.高易用性快速成像、一键成片，无需过多人工调节。
2.超高分辨率优于4nm(SE)，优于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米级别景深，具有高空间分辨率。
4.多探测器可实现四分窗同时扫描成像。
5.抗振性能优异。
产品功能
1.高分辨率，满足用户观测需求；
2.快速抽放气，缩短等待时间；
3.高易用性
可快速成像，一键成片；
4.多种成像参数
满足专业用户的调节需求；
5.高抗振防磁性能
强抗干扰能力；
6.可选配低真空模式，保证用户能够根据需要设定电镜样品仓内真空度，进而对不同类型的样品进行观测。
7.大样品仓
SEM3000A在保证较小外形尺寸同时，具有比肩立式电镜的大仓室，从而容纳更大尺寸样品；
8.多探测器
可实现四分窗同时扫描成像。
应用领域
该电镜外型紧凑，空间适用性强，整机采用大量的抗干扰设计，避免使用环境造成的影响，拓宽了应用范围。同时，该系列台式电镜具有非常丰富的自动调节功能，能够对不同类型的样品进行观测，具有高空间分辨率。
用户可在CEM3000系列台式扫描电镜上搭配不同的探头，同时接收多种信号，对样品进行分析。
应用范例：
部分技术指标
型号 | CEM3000A（大样品仓型） | |
电子枪 | 灯丝 | 钨灯丝 |
分辨率 | 优于4nm(SE)，优于8nm(BSE) @20kV | |
加速电压 | 1 ~ 20kV | |
放大倍数 | 电子图：40 ~ 200,000×（可选配大图拼接） | |
探测器 | 二次电子 | 标配 |
背散射电子 | 标配（四象限高分辨探头） | |
能谱仪 | 选配 | |
自动化软件 | 标配：自动合轴、自动聚焦、自动消像散、一键图像增强 | |
选配：颗粒度统计、孔隙率测量、纤维测量、三维粗糙度重建 | ||
真空系统 | 真空度 | 高真空：优于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（选配） |
抽真空时间 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
样品台 | 自动轴 | X，Y，T |
手动轴 | R，Z | |
行程范围 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手动旋转、电子束旋转） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大样品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
仓内相机 | 导航相机 | 标配高分辨彩色相机 |
侧视相机 | 标配高分辨红外相机 | |
操作系统 图片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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